Gazdan genleşme
Fabrika ekipmanı üreticisi TES’in potansiyel bir müşteri tarafından kalite testinden geçen yeni bir plazma temizleyici geliştirdiğini öğrendik.
Güney Koreli yonga üreticileri, temizleyiciler için yabancı fab ekipman üreticilerine güvendiler, bu nedenle TES’in hamlesi anlamlı, ancak ticarileşmesi muhtemelen biraz zaman alıyor.
TES’in ana ürünleri arasında kimyasal buhar biriktirme makineleri ve gaz fazlı dağlayıcılar bulunmaktadır.
Aşındırıcılar, yalıtkan tabakanın parçalarını gofretin üstüne aşındırmak için hidrojen florür kullanır.
TES, asitlemeyi temizleme özelliğiyle birleştirilmiş olarak ana müşterilerine sunmaktadır.
Temizleyiciler ıslak, kuru veya buhar yöntemlerini kullanır. Gaz fazı ve plazma kuru yöntemler olarak kabul edilir ve uygulanması daha zordur ancak fotorezistleri ve diğer gelişmiş malzemeleri temizleyebilir.
TES’in en yeni plazma temizleyicisi, gofret üzerindeki silikon karbon nitrürü çıkarmak için kullanılır.
SiCN, silikon oksit ve silikon oksinitrid ile karşılaştırıldığında, neredeyse her zaman düşük K malzemesi olarak gofretler üzerindeki yalıtım katmanını yapmak için kullanılır.
Bu, birlikte paketlenmiş devreler arasında bir yalıtım katmanı olarak onu ideal hale getirir.
Bu arada, Applied Materials, gelişmiş yongalar üreten tüm yonga üreticileri tarafından kullanılan plazma temizleyicilerin fiilen tek tedarikçisidir.
