Perşembe, Mart 28, 2024
Ana Sayfa Finans Samsung, Tokyo Electron'un yeni hibrit oksit dağlayıcısını test edecek

Samsung, Tokyo Electron’un yeni hibrit oksit dağlayıcısını test edecek

- Advertisement -

Teknoloji devinin gravürcüler için fabrika ekipmanı tedarik zincirini sarsabilir

Tokyo Electron’un yeni hibrit oksit etch cihazının demo versiyonunu Samsung Electronics’in çip araştırma grubu Semiconductor Research & Development tarafından belirlenen bir yere kurması bekleniyor.

Fabrika ekipmanı üreticisinin yeni ürünü hibrit olarak adlandırılıyor çünkü enerji kaynağı olarak geleneksel RF üretecinin yanı sıra DC puls üretecini kullanıyor.

Aşındırıcıların odası içinde plazmanın oluşması için, onları iyonize etmek üzere gaza enerji enjekte edilir.

Bu işlem sırasında üretilen iyon ve radikal, gofretlerin mikro modellerinin oluşturulduğu dağlama işleminin kendisi için kullanılır.

Önceki asitleyiciler yalnızca RF gücü kullanıyordu. Ancak oksit aşındırma işlemi, levhalar üzerindeki yalıtım katmanlarının dar ve derin bir şekilde nüfuz etmesini gerektirecek şekilde geliştikçe, artan güç çıkışı talebi de arttı.

Bununla birlikte, güç çıkışındaki artış asitleme sırasında ark oluşmasına da neden olabilir. RF jeneratörünün çıktısının artırılması, ekipmanın optimumdan daha büyük olmasına da neden olabilir.

Şu anda Lam Research’ün dağlama ekipmanı, Samsung’un çip bölümü tarafından kullanılanların %60’ından fazlasını oluşturuyor.

Lam Research, olası ark oluşumunu azaltırken, asitleyici üzerindeki RF jeneratörünün çıkışını artırmaya yöneldi.

Bununla birlikte, Tokyo Electron derin aşındırma için RF kullanırken, daha ince aşındırma işleri için DC darbesi kullanır __ Japon fabrika ekipmanı üreticisi böyle bir yaklaşımı benimseyen ilk kişidir. Şirket ayrıca aşındırma gazında yeni metal kullandı.

Samsung geçtiğimiz yıllarda, ekipmanı doğrulamak için test gofretlerini Tokyo Electron’un genel merkezine gönderdi.

Kaynaklar, ekipman için yerel Samsung mühendislerinin övgülerinin ezici bir çoğunlukla olumlu olduğunu söyledi. Aşındırma hızlı yapıldı ve desen şekli de ince yapıldı, dediler.

Demo ekipmanı kurulduktan sonra Samsung’dan gelen bu tür olumlu tepkiler devam ederse, Lam Research’ün Güney Koreli teknoloji devinin en büyük gravür tedarikçisi konumuna meydan okuyabilir.

Samsung, son testlerini geçerse Tokyo Electron’un yeni ekipmanını 3D NAND üretiminde kullanmayı planlıyor. Ekipman, kanal deliğinin açılacağı üretim adımında kullanılacaktır.

Samsung şu anda en yeni 3D NAND V8’in seri üretimini yapıyor. V9 şu anda çip araştırma grubu tarafından hazırlanıyor. Teknoloji devi, büyük olasılıkla 2025’te üretilmeye başlanacak olan V10’da Tokyo Electron’un ekipmanını kullanmayı hedefliyor. Kaynaklar, Tokyo Electron’un bu zaman çizelgesinin farkında olduğunu ve hibrit etcher’ını da zamanında piyasaya sürmeyi hedeflediğini söyledi.

Bu arada, Güney Koreli fabrika ekipmanı üreticisi APTC de Tokyo Electron’unkine benzer bir hibrit etcher geliştiriyor. APTC’nin ana müşterisi SK Hynix’tir ve fabrika ekipmanı üreticisi ilgili birden fazla patent tescil ettirmiştir.

BENZER YAZILAR

Goriot Baba..Balzac..

BAŞLICA KARAKTERLERGORİOT BABA : Emekli olmuş bir imalatçı;bütün hayatı,bencil ve düzensiz kızlarıüzerinde toplanmıştır.BAYAN ANASTASİE DE RESTAUD : Goriot’ın en büyük kızı;güzel fakat bencil.BAY RESTAUD...

Yirminci Mil

John Trevanian | Roman / Amerikan EdebiyatıHer zaman gizemli bir yazar olan John Trevanian, Şibumi ve Katya’nın Yazı adlı romanlarının üzerinden on beş yıl...

Alemdağda Var Bir Yılan

Bu kitap 17 ayrı küçük öyküden meydana gelmektedir. Ben size bunlardan en ünlüsü olan ve kitabın da adını aldığı ‘Alemdağda var bir yılan’ adlı...

POPÜLER YAZILAR

Lazer Hassasiyeti, NASA’nın Navigasyon Doppler Lidar’ı ile Ay Keşifleriyle Buluşuyor

NASAAy gösterisi için hazırlanan Navigasyon Doppler Lidar teknolojisi, uzay araştırmalarının ötesinde sonuçları olan iniş teknolojisindeki ilerlemeleri vurguluyor. Bu ayın sonlarında, NASA'nın ticari ay teslimat hizmetleri...

Ay, Mars ve Ötesi için Öncü Fisyon Enerjisi

NASA özerklik, güvenlik ve uzun vadeli çalışmaya odaklanarak Ay için bir nükleer fisyon reaktörü geliştirmeye yönelik Fisyon Yüzey Enerjisi Projesi ile ilerliyor. Bu çaba,...

Yeni Nesil OLED Teknolojisinin Arkasındaki Sır

Durham Üniversitesi'ndeki bilim adamlarının yeni bir araştırması, daha parlak, daha verimli ve daha kararlı mavi organik ışık yayan diyotlara (OLED'ler) doğru beklenmedik bir yolu...

SEC’in X hesabı, Bitcoin ETF onayına ilişkin sahte haberler yayınlamak için saldırıya uğradı

Birisi, ABD Menkul Kıymetler ve Borsa Komisyonu'nun (SEC) X (eski adıyla Twitter) hesabını ele geçirdi ve kurumun, kayıtlı ulusal güvenlik borsalarında Bitcoin ETF'lerinin (borsada...