Teknoloji devinin gravürcüler için fabrika ekipmanı tedarik zincirini sarsabilir
Tokyo Electron’un yeni hibrit oksit etch cihazının demo versiyonunu Samsung Electronics’in çip araştırma grubu Semiconductor Research & Development tarafından belirlenen bir yere kurması bekleniyor.
Fabrika ekipmanı üreticisinin yeni ürünü hibrit olarak adlandırılıyor çünkü enerji kaynağı olarak geleneksel RF üretecinin yanı sıra DC puls üretecini kullanıyor.
Aşındırıcıların odası içinde plazmanın oluşması için, onları iyonize etmek üzere gaza enerji enjekte edilir.
Bu işlem sırasında üretilen iyon ve radikal, gofretlerin mikro modellerinin oluşturulduğu dağlama işleminin kendisi için kullanılır.
Önceki asitleyiciler yalnızca RF gücü kullanıyordu. Ancak oksit aşındırma işlemi, levhalar üzerindeki yalıtım katmanlarının dar ve derin bir şekilde nüfuz etmesini gerektirecek şekilde geliştikçe, artan güç çıkışı talebi de arttı.
Bununla birlikte, güç çıkışındaki artış asitleme sırasında ark oluşmasına da neden olabilir. RF jeneratörünün çıktısının artırılması, ekipmanın optimumdan daha büyük olmasına da neden olabilir.
Şu anda Lam Research’ün dağlama ekipmanı, Samsung’un çip bölümü tarafından kullanılanların %60’ından fazlasını oluşturuyor.
Lam Research, olası ark oluşumunu azaltırken, asitleyici üzerindeki RF jeneratörünün çıkışını artırmaya yöneldi.
Bununla birlikte, Tokyo Electron derin aşındırma için RF kullanırken, daha ince aşındırma işleri için DC darbesi kullanır __ Japon fabrika ekipmanı üreticisi böyle bir yaklaşımı benimseyen ilk kişidir. Şirket ayrıca aşındırma gazında yeni metal kullandı.
Samsung geçtiğimiz yıllarda, ekipmanı doğrulamak için test gofretlerini Tokyo Electron’un genel merkezine gönderdi.
Kaynaklar, ekipman için yerel Samsung mühendislerinin övgülerinin ezici bir çoğunlukla olumlu olduğunu söyledi. Aşındırma hızlı yapıldı ve desen şekli de ince yapıldı, dediler.
Demo ekipmanı kurulduktan sonra Samsung’dan gelen bu tür olumlu tepkiler devam ederse, Lam Research’ün Güney Koreli teknoloji devinin en büyük gravür tedarikçisi konumuna meydan okuyabilir.
Samsung, son testlerini geçerse Tokyo Electron’un yeni ekipmanını 3D NAND üretiminde kullanmayı planlıyor. Ekipman, kanal deliğinin açılacağı üretim adımında kullanılacaktır.
Samsung şu anda en yeni 3D NAND V8’in seri üretimini yapıyor. V9 şu anda çip araştırma grubu tarafından hazırlanıyor. Teknoloji devi, büyük olasılıkla 2025’te üretilmeye başlanacak olan V10’da Tokyo Electron’un ekipmanını kullanmayı hedefliyor. Kaynaklar, Tokyo Electron’un bu zaman çizelgesinin farkında olduğunu ve hibrit etcher’ını da zamanında piyasaya sürmeyi hedeflediğini söyledi.
Bu arada, Güney Koreli fabrika ekipmanı üreticisi APTC de Tokyo Electron’unkine benzer bir hibrit etcher geliştiriyor. APTC’nin ana müşterisi SK Hynix’tir ve fabrika ekipmanı üreticisi ilgili birden fazla patent tescil ettirmiştir.